Mikrosystemtechnik Prozesse

Prozesse der Mikrosystemtechnik

Protron Mikrotechnik arbeitet mit den aktuellsten Prozessen der Mikrosystemtechnik. Darüber hinaus haben wir ein umfangreiches Equipment für Tests und die Charakterisierung der Mikrosysteme, um Ihnen Prozesse und Produkte mit der bestmöglichen Qualität anzubieten.  

Fotolithographie

  • minimale Strukturgröße ca. 1µm

Abscheidung und thermische Prozessierung

  • Oxidation
  • Diffusion, Tempern
  • LPCVD
  • PECVD
  • Sputtern, Aufdampfen
  • Galvanik 

Ätzen

  • Silizium Tiefenätzen
  • reaktives Ionenätzen
  • nasschemische Strukturierung
  • Sputterätzen

Waferbonden

  • Silizium-Direktbonden
  • anodisches Bonden
  • eutektisches Legieren

Aufbau und Verbindungstechnik

  • Wafersägen
  • Chipbonden
  • Drahtbonden 

Test und Charakterisierung

  • Waferprober
  • 3D Messsystem
  • Ellipsometer
  • Stufenhöhenmessung
  • Profilometer
  • Schichtstress-Messung
  • 4-Punkt Widerstandsmessung
  • Rasterelektronenmikroskop
  • Druckkammern
  • Klimaschränke