Glas Mikrostrukturierung

Protron bietet die Mikrostrukturierung von Quarz- und Borofloat-Glas an. Zusätzlich zu herkömmlichen nasschemischen Ätztechnologien setzen wir neueste 3D Mikrostrukturierungsmethoden zur Herstellung von komplexen Glasstrukturen ein.

Spezifikationen

  • minimale Strukturgröße: 20µm
  • maximale Strukturgröße: 120mm x 100mm x 6mm
  • Typische Oberflächenrauheit: 1µm Rz
  • laterale Genauigkeit: 2µm
  • vertikale Genauigkeit: 3µm
  • Positionsgenauigkeit: <1µm
  • 2D und 3D Designs möglich

Anwendungen

  • Mikrostrukturen aus Quarzglas
  • Mikrostrukturen aus Borofloatglas
  • 3D Mikrofluidikstrukturen
  • Glasfaseralignmentstrukturen
  • MEMS Deckelwafer
  • Vakuum-Werkzeuge
  • Mikrodüsen

Protron bietet

  • Prototypenfertigung
  • Serienfertigung