MEMS Sensoren

Mikromechanische Sensoren

Protron entwickelt mikromechanische Sensoren für spezifische Kundenanforderungen. Neben unseren Drucksensoren, die für verschiedene Anwendungen adaptiert werden können, bieten wir einen Entwicklungsservice für alle Arten von mikroelectromechanischen Sensoren an. Wir haben Entwicklungs- und Fertigungserfahrungen für Intertialsensorik (Beschleunigungssensoren, Gyroscopes, Neigungssensoren), thermische Sensoren (Thermoelemente und Thermopiles), fluidische Sensoren (Strömungssensoren für Gase und Flüssigkeiten, Interdigitalelektroden für Impedanzanalytik).

Drucksensoren

Protron hat einen hochminiaturisierten kapazitiven Drucksensor entwickelt. Der Sensor wird mittels Oberflächenmikromechanik auf einem Quarzsubstrat gefertigt, wodurch parasitäre Kapazitäten minimiert werden. Das kapazitive Prinzip gewährleistet eine langzeitstabile hohe Genauigkeit und eine minimale Hysterese im Vergleich zu piezoresistiven Drucksensoren. Protron bietet kapazitive Sensorelemente und Evaluationboards mit applikationsspezifischen ASICS an. 

Eigenschaften

  • Druckbereiche: 0.3-1.3bar / 2-8bar
  • Auflösung: ca. 0.02mbar
  • Chipfläche 0.6x1.2x0.5mm3
  • SMD Gehäuse für Sensor Element 3x3mm²
  • QFN Gehäuse Sensor mit ASIC 5x5mm²
  • I²C Schnittstelle
  • geringe Leistungsaufnahme
  • minimale Hysterese

Weitere Informationen unter Protron Druck Sensor

Strömungssensor

Protron bietet einen neuen thermischen Strömungssensor an, der am Institut für Mikrosensoren, -aktoren und -systeme IMSAS Bremen entwickelt wurde. Das besondere an dem Sensorskonzept ist eine Hochtemperatur LPCVD Passivierung, die den Sensor unempfindlich gegenüber äußeren Einflüssen macht und einen Einsatz in einer Vielzahl von Gasen und Flüssigkeiten wie z.B. in Hydrauliksystemen, medizinischen oder biologischen Anwendungen ermöglicht. 

Der thermische Strömungssensor besteht aus einem zentralen Heizer und zwei hochpräzisen Thermosäulen auf einer Siliziumnitrid-Membran mit denen die Fluidströmung detektiert werden kann. Die Siliziumnitrid-Membran sorgt aufgrund ihrer thermischen Isolation für ein ausgezeichnetes dynamisches Verhalten des Sensors.  

Eigenschaften

  • Materialien
    • Thermosäulen: p-dotiertes Poly-Silizium & WTi
    • Heizer: WTi
    • Membran: Silizium-Nitrid
    • Passivierung: Silizium-Nitrid
  • Thermospannung pro Thermosäule: 4.3 mV/K
  • Typisches Ausgangssignal: 0 - 25 mV
Mehr Informationen: Protron Strömungssensor